テクノケミカル株式会社

TECHNO CHEMICAL corp.
生化学・免疫学等の研究用試薬及び関連機器輸入販売

トーシミス

Automegasamdri®-915B, Series B
オートメガサムドリ-915B, シリーズB (クリーンルーム仕様)



 tousimis catalog #8785C

  • ■ オートマチック臨界点乾燥器
  • ■ 直径6"迄のウェハ5枚 処理可能
  • ■ クリーンルーム仕様

臨界点乾燥器Automegasamdri® -915Bシステムは、Dr. A.J. Tousimisとトーシミス社のSAMDRI設計グループにより開発されました

スムーズな動作と正確な制御は臨界点乾燥器Automegasamdri® -915Bの特徴です。 ウェハホルダーとインサートは10mm四方のチップ(Die). と同様に6"、4"、3"、 2"の処理も張り付きを生じない処理を可能にしました。

Supercritical Automegasamdri®-915Bのチャンバーは内径 6.50"で、 6"直径のウェハ6枚まで張り付きを生じることなく処理する事ができます

    特徴
    • 完全自動化処理を考慮したマイクロプロセッサによる制御*
    • 装置内部の表面は全てCO2と超高純度アルコールに対して不活性化*
    • 動作パラメータの設定により再現性の高い結果を保証*
    • 優れた温度制御.*
    • 全ての電子部品はCE, UL規格と米国陸軍規格に準拠
    • 静圧コントロールモジュールをプリセットし、安全で安定な自動圧力制御
    • 0.4um径の内部ステレンス焼結フィルターによって、ライン及びウェハ/チップ(die)そしてバルブを微粒子から守るのに役立ちます*
    • 内部状態を観察するための窓と内部照明つきのチャンバー
    • 安全性のために内部に設置されたラプチュアディスク*
    • 3分以内にチャンバーを室温から0℃まで冷却する、効果的な断熱冷却システム*
    • パージ(不純分子追放)中のチャンバー内温度を0-10℃に自動的に維持*
    • パネルLEDは器機の状態を即時表示*
    • 最新の信頼出来るソリッドステイト電子回路
    • クリーンルーム対応:静電フリー設計
    • 特許出願中のSOTER コンデンサーが排気とアルコールを完全に捕らえ、安全性と簡便性を確保*
    • ユニークなチャンバーインサート*がチャンバー内径(I.D.)の変動に対応。LCO2の消費と処理時間の効率を格段に上げ、チャンバーのサイズを 1.25"まで下げることが可能
    • 1度に6"までのウェハを5枚まで処理(6"ウェハモデル)
    • 内部システムとキャビネットは静電気フリー設計*
    • アメリカ国内においては、質の高いtousimis® 社技術者による取り付け、トレーニング、相談サービス。またインターナショナルでは、オンサイトスタートアップトレ−ニングが可能です。 お問い合わせ下さい。

        規格
      • キャビネット: 36cm(幅)×30cm(高さ)×64cm(奥行き)
      • チャンバーサイズ: 内径6.5"x 深さ1.25"
      • システム設置に必要なエリア: 122cm(幅)×87cm(奥行き)
      • チャンバー容量: 628ml
      • 温度ゲージ範囲: -30℃〜60℃
      • 圧力ゲージ範囲: 0〜2000psi
      • プリセット(調節可能)のバーニアハンドル付きマイロメータリングバルブを用いて流量制御
      • オペレータの好みで調節可能*
      • 120V/60Hz/15A(その他の電圧でもご用意できます。ご連絡下さい)
      • 複数の10mm四方のチップ(die)から6"ウェハまでの試料を付属のサンプルホルダーとの併用で1度に5枚まで処理可能 (これらのテフロン製サンプルホルダーはHF前処理からAutomegasamdri® チャンバーへの導入までの プロセス及び運搬時にも使用可能)

        標準アクセサリー
      • 120 V / 60Hz(他の仕様でも用意できます。ご相談下さい)
      • クリーンルーム内で対応:外側はステンレスブレードコーティング、内側は不活性なテフロンコーティングの10 feet (〜3m) LCO2 高圧ホース。異なる長さがご希望の場合はお問い合わせ下さい(有料)
      • 水分/油分/微粒子(直径0.5um以上)を除去するLCO2外部コンビネーションフィルタ(#8784)チャンバーに接続されたLCO2 高圧ホースにプレインストール
      • 新しい SOTER™コンデンサーはAutomegasamdri®-915B排気ホースに直接接続されます。
      • アルコールを捕集し、排気音を軽減します
      • 全ての排気口には静電フリーチューブを使用
      • ステンレス製内部フィルター(ポア直径 0.4um)が各ライン、ウェハ/チップ(die)そしてバルブを保護
      • 流量計により排気量を正確にコントロール
      • 交換用チャンバー O-リング (3)、交換用チャンバーランプ (2), 交換用 5A slo-blow ヒューズ(2)
      • Teflon®チャンバーインサート(4種):チャンバー内径 6"、4"、3"、2"そして1.25"対応*
      • Teflon® ウェハ/チップ(Die)ホルダー: 外径 6"、4"、3"、2"そして 10mm x 10mm 四方のチップ(Die)用ホルダー(いずれもHF耐性有り)
      • tousimis® 社技術スタッフによる技術サポート(アメリカ)
      • 全てのパーツ・修理を2年間保証(全ての修理は、アメリカのトーシミス社で行われます。)

      オプショナルアクセサリー

      8777 SOTERx CONDENSER
      8760-02 KNURL NUT for any tousimis® Autosamdri®-815B and Automegasamdri®-915B Chamber I.D.
      8760-40 5 AMP FUSE
      8770-10 CHAMBER LAMP, 120Volt/60Hz
      8770-32 HIGH-PRESSURE HOSE, 5ft
      8770-33 HIGH-PRESSURE HOSE, 10ft
      8770-HPS HIGH PRESSURE HOSE, Custom Length Up To 10m (33ft)
      8770-90 CHAMBER LID, for Automegasamdri®-915B
      8770-51T/915B Teflon® O-Ring for Automegasamdri®-915B
      8784 LCO2 Filter Housing
      8784A LCO2 FILTER ELEMENT for #8784
      8783 LCO2 Filter Adaptor Kit
      8770-53 POWER CABLE
      8770-54 LCO2 TANK SCALE W/ REMOTE READOUT
      8770-55 LCO2 TANK HEATER
      8768A TEFLON® WAFER HOLDER for 6" Diameter Wafers
      8768F TEFLON® WAFER HOLDER for 5" Diameter Wafers
      8768B TEFLON® WAFER HOLDER for 4" Diameter Wafers
      8768C TEFLON® WAFER HOLDER for 3" Diameter Wafers
      8768D TEFLON® WAFER HOLDER for 2" Diameter Wafers
      8768G TEFLON® WAFER HOLDER for 1" Diameter Wafers
      8768E TEFLON® WAFER HOLDER for 10mm x 10mm Square Die. Holds up to 5 Chips

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