テクノケミカル株式会社

TECHNO CHEMICAL corp.
生化学・免疫学等の研究用試薬及び関連機器輸入販売

トーシミス

Autosamdri®-815B, Series B
オートサムドリ-815B, シリーズB (クリーンルーム仕様)



 tousimis catalog #8780C

  • ■ オートマチック超臨界点乾燥器
  • ■ 直径4"迄のウェハ5枚 処理可能
  • ■ クリーンルーム仕様

臨界点乾燥器Autosamdri®-815B シリーズBは、Dr. A.J. Tousimisとトーシミス社のSAMDRI設計グループにより開発されました 臨界点乾燥器 Autosamdri®-815B, Series Bはフルオートマチックのマイクロプロセッサ制御装置としてリリースされたツールです。 ご希望であれば、マニュアルモードでのプログラムも可能です。スムーズな動作と正確な制御は臨界点乾燥器Autosamdri®-815Bの特徴です。

直径4.50"の臨界点乾燥器 Autosamdri®-815B, Series Bのチャンバーは、張り付きを起こさずに直径4"のウェハの処理を可能にしました。

    特徴
    • 完全自動化処理を考慮したマイクロプロセッサによる制御*
    • 装置内部の表面は全てCO2と超高純度アルコールに対して不活性化*
    • 繰り返し操作可能なパラメータで再現性の有る結果を確保*
    • 優れた温度制御.*
    • 全ての電子部品はCE, UL規格と米国陸軍規格に準拠
    • 静圧コントロールモジュールをプリセットし、安全で安定な自動圧力制御
    • 0.4um径の内部ステレンス焼結フィルターによって、ライン及びウェハ/チップ(die)そしてバルブを微粒子から守るのに役立ちます*
    • 内部状態を観察するための窓と内部照明つきのチャンバー
    • 安全性のために内部に設置されたラプチュアディスク.*
    • 3分以内にチャンバーを室温から0℃まで冷却する、効果的な断熱冷却システム。FILLモードやPURGEモードの温度を自動的に保持*
    • パネルLEDは器機の状態を即時表示*
    • 最新の信頼出来るソリッドステイト電子回路
    • クリーンルーム対応:静電フリー設計
    • 特許出願中のSOTER コンデンサーが排気とアルコールを完全に捕らえ、安全性と簡便性を確保*
    • ユニークなチャンバーインサート*がチャンバー内径(I.D.)の変動に対応。LCO2の消費と処理時間の効率を向上
    • 1度に4"までのウェハを5枚まで処理(4"ウェハモデル)

        規格
      • キャビネット: 36cm(幅) x 30cm(高さ) x 64cm(奥行き)
      • チャンバーサイズ: 内径4.50" x 深さ1.25"
      • システムの設置に必要な広さ: 幅 48" x 奥行き 34"
      • チャンバー容量: 406 ml
      • 温度ゲージ範囲: -30℃〜60℃
      • 圧力ゲージ範囲: 0〜2,000 psi
      • バーニアハンドル付きマイクロメータリングバルブで簡単にLCO2流量制御
      • 120 V/ 60 Hz, 15A (そのほかの規格も対応いたしますのでご相談下さい)一度に処理できる最大数量は、4”ウェハ5枚まで又は、 トーシミス社のテフロンチップ(die)ホルダーを用いて、10mm角のチップ複数処理可能(トーシミス社のテフロンサンプルホルダー*は、チップを HFからAutosamdri®-815B チャンバーへの移動にも便利です)

        標準アクセサリー
      • 120 V / 60Hz(他の仕様でも用意できます。ご相談下さい)
      • クリーンルーム内で対応:外側はステンレスブレードコーティング、内側は不活性なテフロンコーティングの10 feet (〜3m) LCO2 高圧ホース。異なる長さがご希望の場合はお問い合わせ下さい(有料)
      • 水分/油分/微粒子(直径0.5um以上)を除去するLCO2外部コンビネーションフィルター(#8784)チャンバーに接続されたLCO2 高圧ホースにプレインストール
      • 新しい SOTER™ コンデンサーはAutomegasamdri®-815B排気ホースに直接接続されます。アルコールを捕集し、排気音を軽減します*
      • 全ての排気口には静電フリーチューブを使用
      • ステンレス製内部フィルター(ポア直径 0.5um)が各ライン、ウェハ/チップ(die)そしてバルブを保護
      • 流量計により排気量を正確にコントロール
      • 交換用チャンバー O-リング (3)、交換用チャンバーランプ (2), 交換用 5A slo-blow ヒューズ(2)
      • 3 Teflon® チャンバーインサート:チャンバー内径 4"、3"、2"そして1.25"対応
      • Teflon® ウェハ*ホルダー:直径 4", 3", 2"、 10mm x 10mmチップ(die)ホルダー(HF耐性有り)
      • tousimis® 社技術スタッフによる技術サポート(アメリカ)
      • 全てのパーツ・修理を2年間保証(全ての修理は、アメリカのトーシミス社で行われます

      * Indicates tousimis® patented, patent-pending, registered, or copyrighted features.

      オプショナルアクセサリー

      8777 SOTER™ CONDENSER
      8760-02 KNURL NUT for any tousimis® Autosamdri®-815B and Automegasamdri®-915B Chamber I.D.
      8760-40 5 AMP FUSE
      8770-10 CHAMBER LAMP, 120Volt/60Hz
      8770-32 HIGH-PRESSURE HOSE, 5ft
      8770-33 HIGH-PRESSURE HOSE, 10ft
      8770-HPS HIGH PRESSURE HOSE, Custom Length Up To 10m (33ft)
      8770-60 CHAMBER LID, for Autosamdri®-815B
      8770-51T/815B Teflon® O-Ring for Autosamdri®-815B
      8784 LCO2 Filter Housing
      8784A LCO2 FILTER ELEMENT for #8784
      8783 LCO2 Filter Adaptor Kit
      8770-53 POWER CABLE
      8770-54 LCO2 TANK SCALE W/ REMOTE READOUT
      8770-55 LCO2 TANK HEATER
      8768B TEFLON® WAFER HOLDER for 4" Diameter Wafers
      8768C TEFLON® WAFER HOLDER for 3" Diameter Wafers
      8768D TEFLON® WAFER HOLDER for 2" Diameter Wafers
      8768G TEFLON® WAFER HOLDER for 1" Diameter Wafers
      8768E TEFLON® WAFER HOLDER for 10mm x 10mm Square Die. Holds up to 5 Chips

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