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MEMS超臨界乾燥システム用
ウェハーホルダー


 
#8768A TEFLON® WAFER HOLDER for 6" Diameter Wafers

フッ化水素酸耐性あり
5 x 6 inchのウェハーを保持出来るスペーサー5ヶ付き
Automegasamdri®(オートメガサムドリ)-915B用
スペーサーの追加購入可能(#8768A-01)

 
#8768F TEFLON® WAFER HOLDER for 5" Diameter Wafers

フッ化水素酸耐性あり
5 x 5 inchのウェハーを保持出来るスペーサー5ヶ付き
Automegasamdri®(オートメガサムドリ)-915B用
スペーサーの追加購入可能(#8768F-01)

 
#8768B TEFLON® WAFER HOLDER for 4" Diameter Wafers

フッ化水素酸耐性あり
5 x 4 inchのウェハーを保持出来るスペーサー5ヶ付き
スペーサーの追加購入可能(#8768B-01)

 
#8768C TEFLON® WAFER HOLDER for 3" Diameter Wafers

フッ化水素酸耐性あり
5 x 3 inchのウェハーを保持出来るスペーサー5ヶ付き
スペーサーの追加購入可能(#8768C-01)

 
#8768D TEFLON® WAFER HOLDER for 2" Diameter Wafers

フッ化水素酸耐性あり
5 x 2 inchのウェハーを保持出来るスペーサー5ヶ付き
スペーサーの追加購入可能(#8768D-01)

 
#8768G TEFLON® WAFER HOLDER for 1" Diameter Wafers

フッ化水素酸耐性あり
5 x 1 inchのウェハーを保持出来るスペーサー5ヶ付き
スペーサーの追加購入可能(#8768G-01)

  
#8768E TEFLON® WAFER HOLDER for 10mm x 10mm Square Die

フッ化水素酸耐性あり
10mm x 10mmのダイス型ウェハーを5枚保持可能
samdri®にてHFからのダイス型ウェハーを安全に処理可能
全体サイズ(外側):直径 30mm(1.18 inch)、高さ 28mm(1.10 inch)

 

* All wafer holders either U.S. patented or U.S. patent pending features.

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