Autosamdri®-815, Series B
オートメガサムドリ-815, シリーズB
tousimis catalog #8779C
  • オートマチック超臨界点乾燥機
  • 1cm sq.チップ(die)を５枚、 または 直径1"ウェハ５枚を一度に処理可能
  • クリーンルーム仕様

新しい Autosamdri®-815, Series B* は、Dr. A. J. Tousimisとトーシミス社のSAMDRI設計グループにより開発されました。クリーンルーム仕様のため、チップ(die)の張り付きを防止します。スムーズかつ正確な制御が出来ることがAutosamdri®-815, Series Bの特徴です。

特徴:

  • マイクロプロセッサによる自動処理と再現性を確保*
  • オートでの処理とセミオートでの処理を選択可能*
  • 装置内の全てのバルブとシールはLCO2とアルコールに対して不活性処理済み*
  • 優れた温度制御*.
  • 静圧コントロールモジュールをプリセットし、安全で安定な自動圧力制御*
  • 内部状態を確認するための窓と内部照明がついたチャンバー
  • 挿入、観察がとても簡単
  • 効果的な断熱冷却システム* (25℃から0℃まで下げる為の所要時間はわずか90秒)
  • LEDにより処理内容を即時表示*
  • 進化した信頼出来るソリッドステイト電子回路
  • システムとキャビネットは静電気フリー設計*
  • 全ての電子部品はCE、UL規格と米国軍陸軍規格に準拠
  • オプショナルアクセサリーにあるSOTER™ コンデンサー* を接続可能

規格:

  • キャビネット:　36cm(幅) x 26cm(高さ) x 55cm(奥行き)
  • チャンバーサイズ:　 内径 1.25" x 深さ 1.25"
  • 温度ゲージ範囲:　 -30℃〜 60℃
  • 圧力ゲージ範囲:　 0〜2,000 psi.
  • バーニアハンドルを全てのメータリングバルブにつけることで、正確な流量コントロールと再現性を確保
  • 110-125V / 60 Hz、 15Ａ　(その他の電圧でもご用意できます。お問い合わせ下さい)

標準アクセサリー:

  • 取り外し可能な三口プラグ付きスペアコード　120V, 60Hz, 15 A
  • 外側ステンレスブレードコーティング、内側は不活性なテフロンコーティングのLCO2用高圧ホース。 10 feet (〜 3ｍ迄) (その他の長さがご希望の場合は別途お見積もり致します)
  • LCO2用の水分／油分／微粒子フィルター(ポア直径0.5μm)(#8784) は、高圧ホースにプレインストール
  • 排気口用肉厚タイゴンチューブ
  • ステンレス内部フィルター (ポアサイズ　直径0.4μm)がライン、サンプルそしてバルブをガード
  • 流量計( CO2流量の調整とモニター用)は、2〜20 SCFH) (ブリード、ベントレート)
  • Teflon® チップ(die)ホルダーは、10mm x 10mmのチップ(die)、５枚処理可能
  • 設置用ツールキット.
  • スペアチャンバー　Ｏリング　ｘ２
  • スペア ５Ａ Slo-Blowヒューズ　ｘ２
  • スペアチャンバーランプ　ｘ２
  • 無料テクニカルサポート
  • ユーザーマニュアル.
  • チェック用データシート
  • 全てのパーツ・修理を２年間保証。修理はアメリカのトーシミス社にて行います

オプショナルアクセサリー:

8777 SOTER™ CONDENSER
8760-01 KNURL NUT for any tousimis® Samdri® with a 1.25" Chamber I.D.
8760-40 5 AMP FUSE
8770-10 CHAMBER LAMP, 120Volt/60Hz
8770-32 HIGH-PRESSURE HOSE, 5ft
8770-33 HIGH-PRESSURE HOSE, 10ft
8770-HPS HIGH PRESSURE HOSE, Custom Length Up To 10m (33ft)
8770-50 CHAMBER LID, for any tousimis SAMDRI® with a 1.25" diameter chambers
8770-51 O-Ring for 1.25" Chamber I.D.
8770-51/T Teflon® O-Ring for 1.25" Chamber I.D.
8784 LCO2 Filter Housing
8784A LCO2 FILTER ELEMENT for #8784
8783 LCO2 Filter Adaptor Kit
8770-53 POWER CABLE
8770-54 LCO2 TANK SCALE W/ REMOTE READOUT
8770-55 LCO2 TANK HEATER
8768G TEFLON® WAFER HOLDER for 1" Diameter Wafers
8768E TEFLON® WAFER HOLDER for 10mm x 10mm Square Die. Holds up to 5 Chips.

tousimis® teflon®ウェハホルダー

MEMS用超臨界点乾燥機用オプショナルアクセサリー

* Indicates tousimis® patented, patent-pending, registered, or copyrighted features.

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