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Autosamdri®-815B, Series B
オートメガサムドリ-815B, シリーズB
(クリーンルーム仕様)


tousimis catalog #8780C
  • オートマチック超臨界点乾燥機
  • 直径 4"迄のウェハを5枚処理可能
  • クリーンルーム仕様

  • 超臨界点乾燥機Automegasamdri®-815B シリーズBは、Dr. A.J. Tousimisとトーシミス社のSAMDRI設計グループにより開発されました
  • 超臨界点乾燥機 Autosamdri®-815B, Series Bはフルオートマチックのマイクロプロセッサ制御装置としてリリースされたツールです。ご希望であれば、マニュアルモードでのプログラムも可能です。スムーズな動作と正確な制御は超臨界点乾燥機Autosamdri®-815Bの特徴です。
  • 直径4.50"の超臨界点乾燥機 Autosamdri®-815B, Series Bのチャンバーは、張り付きを起こさずに直径4"のウェハの処理を可能にしました。

特徴:

  • 完全自動化処理を考慮したマイクロプロセッサによる制御*
  • 装置内部の表面は全てCO2と超高純度アルコールに対して不活性化*
  • 繰り返し操作可能なパラメータで再現性の有る結果を確保*
  • 優れた温度制御.*
  • 全ての電子部品はCE, UL規格と米国陸軍規格に準拠
  • 静圧コントロールモジュールをプリセットし、安全で安定な自動圧力制御
  • 0.4um径の内部ステレンス焼結フィルターによって、ライン及びウェハ/チップ(die)そしてバルブを微粒子から守るのに役立ちます*
  • 内部状態を観察するための窓と内部照明つきのチャンバー
  • 安全性のために内部に設置されたラプチュアディスク.*
  • 3分以内にチャンバーを室温から0℃まで冷却する、効果的な断熱冷却システム。FILLモードやPURGEモードの温度を自動的に保持*
  • パネルLEDは器機の状態を即時表示*
  • 最新の信頼出来るソリッドステイト電子回路
  • クリーンルーム対応:静電フリー設計
  • 特許出願中のSOTERコンデンサーが排気とアルコールを完全に捕らえ、安全性と簡便性を確保*
  • ユニークなチャンバーインサート*がチャンバー内径(I.D.)の変動に対応。LCO2の消費と処理時間の効率を向上
  • 1度に4"までのウェハを5枚まで処理(4"ウェハモデル)

規格:

  • キャビネット: 36cm(幅) x 30cm(高さ) x 64cm(奥行き)
  • チャンバーサイズ: 内径4.50" x 深さ1.25"
  • システムの設置に必要な広さ: 幅 48" x 奥行き 34"
  • チャンバー容量: 406 ml
  • 温度ゲージ範囲: -30℃〜60℃
  • 圧力ゲージ範囲: 0〜2,000 psi
  • バーニアハンドル付きマイクロメータリングバルブで簡単にLCO2流量制御
  • 120 V/ 60 Hz, 15A (そのほかの規格も対応いたしますのでご相談下さい)
  • 一度に処理できる最大数量は、4”ウェハ5枚まで又は、トーシミス社のテフロンチップ(die)ホルダーを用いて、10mm角のチップ複数処理可能(トーシミス社のテフロンサンプルホルダー*は、チップをHFからAutosamdri®-815B チャンバーへの移動にも便利です).

標準アクセサリー:

  • 120 V / 60Hz(他の仕様でも用意できます。ご相談下さい)
  • クリーンルーム内で対応:外側はステンレスブレードコーティング、内側は不活性なテフロンコーティングの10 feet (〜3m) LCO2 高圧ホース(異なる長さがご希望の場合はお問い合わせ下さい(有料))
  • 水分/油分/微粒子(直径0.5um以上)を除去するLCO2外部コンビネーションフィルター(#8784)チャンバーに接続されたLCO2 高圧ホースにプレインストール
  • 新しい SOTERコンデンサーはAutomegasamdri®-915B排気ホースに直接接続されます。アルコールを捕集し、排気音を軽減します*
  • 全ての排気口には静電フリーチューブを使用
  • ステンレス製内部フィルター(ポア直径 0.5um)が各ライン、ウェハ/チップ(die)そしてバルブを保護
  • 流量計により排気量を正確にコントロール
  • 交換用チャンバー O-リング (3)、交換用チャンバーランプ (2), 交換用 5A slo-blow ヒューズ(2)
  • 3 Teflon®チャンバーインサート:チャンバー内径 4"、3"、2"そして1.25"対応
  • Teflon® ウェハ*ホルダー:直径 4", 3", 2"、 10mm x 10mmチップ(die)ホルダー(HF耐性有り)
  • tousimis®社技術スタッフによる技術サポート(アメリカ)
  • 全てのパーツ・修理を2年間保証(全ての修理は、トーシミス社(アメリカ)にて行われます。)

Optional Accessories:

8777 SOTER CONDENSER
8760-02 KNURL NUT for any tousimis® Autosamdri®-815B and Automegasamdri®-915B Chamber I.D.
8760-40 5 AMP FUSE
8770-10 CHAMBER LAMP, 120Volt/60Hz
8770-32 HIGH-PRESSURE HOSE, 5ft
8770-33 HIGH-PRESSURE HOSE, 10ft
8770-HPS HIGH PRESSURE HOSE, Custom Length Up To 10m (33ft)
8770-60 CHAMBER LID, for Autosamdri®-815B
8770-51T/815B Teflon® O-Ring for Autosamdri®-815B
8784 LCO2 Filter Housing
8784A LCO2 FILTER ELEMENT for #8784
8783 LCO2 Filter Adaptor Kit
8770-53 POWER CABLE
8770-54 LCO2 TANK SCALE W/ REMOTE READOUT
8770-55 LCO2 TANK HEATER
8768B TEFLON® WAFER HOLDER for 4" Diameter Wafers
8768C TEFLON® WAFER HOLDER for 3" Diameter Wafers
8768D TEFLON® WAFER HOLDER for 2" Diameter Wafers
8768G TEFLON® WAFER HOLDER for 1" Diameter Wafers
8768E TEFLON® WAFER HOLDER for 10mm x 10mm Square Die. Holds up to 5 Chips.

tousimis® teflon®ウェハホルダー

MEMS用超臨界点乾燥機用オプショナルアクセサリー


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