Automegasamdri®-915B, Series B
オートメガサムドリ-915B, シリーズＢ
(クリーンルーム仕様)

tousimis catalog #8785C
  • オートマチック超臨界点乾燥機
  • 直径６"迄のウェハ５枚
    • 処理可能
  • クリーンルーム仕様
  • 超臨界点乾燥機Automegasamdri ® -915Bシステムは、Dr. A.J. Tousimisとトーシミス社のSAMDRI設計グループにより開発されました
  • スムーズな動作と正確な制御は超臨界点乾燥機Automegasamdri® -915Bの特徴です。ウェハホルダーとインサートは10mm四方のチップ(Die). と同様に6"、4"、3"、 2"の処理も張り付きを生じない処理を可能にしました。
  • Supercritical Automegasamdri®-915Bのチャンバーは内径 6.50"で、 6"直径のウェハ６枚まで張り付きを生じることなく処理する事ができます。

特徴:

  • 完全自動化処理を考慮したマイクロプロセッサによる制御*
  • 装置内部の表面は全てCO2と超高純度アルコールに対して不活性化*
  • 動作パラメータの設定により再現性の高い結果を保証*
  • 優れた温度制御.*
  • 全ての電子部品はCE, UL規格と米国陸軍規格に準拠
  • 静圧コントロールモジュールをプリセットし、安全で安定な自動圧力制御
  • 0.4um径の内部ステレンス焼結フィルターによって、ライン及びウェハ／チップ(die)そしてバルブを微粒子から守るのに役立ちます*
  • 内部状態を観察するための窓と内部照明つきのチャンバー
  • 安全性のために内部に設置されたラプチュアディスク*
  • ３分以内にチャンバーを室温から0℃まで冷却する、効果的な断熱冷却システム*
  • パージ（不純分子追放）中のチャンバー内温度を0-10℃に自動的に維持*
  • パネルLEDは器機の状態を即時表示*
  • 最新の信頼出来るソリッドステイト電子回路
  • クリーンルーム対応：静電フリー設計
  • 特許出願中のSOTER™コンデンサーが排気とアルコールを完全に捕らえ、安全性と簡便性を確保*
  • ユニークなチャンバーインサート*がチャンバー内径（I.D.）の変動に対応。LCO2の消費と処理時間の効率を格段に上げ、チャンバーのサイズを 1.25"まで下げることが可能
  • １度に６"までのウェハを5枚まで処理（６"ウェハモデル）
  • 内部システムとキャビネットは静電気フリー設計*
  • アメリカ国内においては、質の高いtousimis®社技術者による取り付け、トレーニング、相談サービス。またインターナショナルでは、オンサイトスタートアップトレ−ニングが可能です。お問い合わせ下さい。

規格:

  • キャビネット：　36cm（幅）×30cm（高さ）×64cm（奥行き)
  • チャンバーサイズ：　内径6.5"x 深さ1.25"
  • システム設置に必要なエリア：　122cm（幅）×87cm（奥行き)
  • チャンバー容量：　628ml
  • 温度ゲージ範囲：　-30℃〜60℃
  • 圧力ゲージ範囲：　0〜2000psi
  • プリセット（調節可能）のバーニアハンドル付きマイロメータリングバルブを用いて流量制御
  • オペレータの好みで調節可能*
  • 120V/60Hz/15A（その他の電圧でもご用意できます。ご連絡下さい)
  • 複数の10mm四方のチップ(die)から6"ウェハまでの試料を付属のサンプルホルダーとの併用で1度に5枚まで処理可能　 （これらのテフロン製サンプルホルダーはHF前処理からAutomegasamdri®チャンバーへの導入までのプロセス及び運搬時にも使用可能）

標準アクセサリー:

  • 120 V / 60Hz(他の仕様でも用意できます。ご相談下さい)
  • クリーンルーム内で対応：外側はステンレスブレードコーティング、内側は不活性なテフロンコーティングの10 feet (〜３ｍ） LCO2 高圧ホース(異なる長さがご希望の場合はお問い合わせ下さい(有料)）
  • 水分／油分／微粒子(直径0.5um以上)を除去するLCO2外部コンビネーションフィルター(#8784)チャンバーに接続されたLCO2 高圧ホースにプレインストール
  • 新しい SOTER™コンデンサーはAutomegasamdri®-915B排気ホースに直接接続されます。アルコールを捕集し、排気音を軽減します
  • 全ての排気口には静電フリーチューブを使用
  • ステンレス製内部フィルター(ポア直径 0.4um)が各ライン、ウェハ／チップ(die)そしてバルブを保護
  • 流量計により排気量を正確にコントロール
  • 交換用チャンバー　O-リング (3)、交換用チャンバーランプ (2), 交換用 5A slo-blow ヒューズ(2).
  • Teflon®チャンバーインサート(４種)：チャンバー内径 6"、4"、3"、2"そして1.25"対応*
  • Teflon® ウェハ/チップ(Die)ホルダー：　外径 6"、4"、3"、2"そして 10mm x 10mm 四方のチップ(Die)用ホルダー(いずれもＨＦ耐性有り)
  • tousimis®社技術スタッフによる技術サポート(アメリカ)
  • 全てのパーツ・修理を2年間保証(全ての修理は、トーシミス社(アメリカ)にて行われます。）

オプションアクセサリー:

8777 SOTER™ CONDENSER
8760-02 KNURL NUT for any tousimis® Autosamdri®-815B and Automegasamdri®-915B Chamber I.D.
8760-40 5 AMP FUSE
8770-10 CHAMBER LAMP, 120Volt/60Hz
8770-32 HIGH-PRESSURE HOSE, 5ft
8770-33 HIGH-PRESSURE HOSE, 10ft
8770-HPS HIGH PRESSURE HOSE, Custom Length Up To 10m (33ft)
8770-90 CHAMBER LID, for Automegasamdri®-915B
8770-51T/915B Teflon® O-Ring for Automegasamdri®-915B
8784 LCO2 Filter Housing
8784A LCO2 FILTER ELEMENT for #8784
8783 LCO2 Filter Adaptor Kit
8770-53 POWER CABLE
8770-54 LCO2 TANK SCALE W/ REMOTE READOUT
8770-55 LCO2 TANK HEATER
8768A TEFLON® WAFER HOLDER for 6" Diameter Wafers
8768F TEFLON® WAFER HOLDER for 5" Diameter Wafers
8768B TEFLON® WAFER HOLDER for 4" Diameter Wafers
8768C TEFLON® WAFER HOLDER for 3" Diameter Wafers
8768D TEFLON® WAFER HOLDER for 2" Diameter Wafers
8768G TEFLON® WAFER HOLDER for 1" Diameter Wafers
8768E TEFLON® WAFER HOLDER for 10mm x 10mm Square Die. Holds up to 5 Chips.

tousimis® teflon®ウェハホルダー

MEMS用超臨界点乾燥機用オプショナルアクセサリー

* Indicates tousimis® patented, patent-pending, registered, or copyrighted features.

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